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等離子凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器。
它是在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、 板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。它有3至9個微波激發單位，根據被處理風量的不同，數量不同，微波由于它的頻率相對比較高，在納秒的時間內有效作用于被處理空間（區域），由于微波的功率相對較小，因此在激發能力上也就是說電子的獲能躍遷能力上有限，它的設計只是把微波作為初頻激發源，在處理過程中作為一種預激發能。由于微波的預激功能， 大的提高等離子體區， 板區的激發能力和處理效果。由于微波技術的運用，它在同類設備的比較中顯得設備精煉而效果優越。它有40支至240支充有特殊氣體的無 管組成的低溫等離子體激發區，低溫等離子體區是工藝的核心技術，國外諸多科研機構室稱在常壓下實現低溫等離子體。
等離子空氣凈化器的工藝
它是集低溫等離子體、微波放電、 板放電與一體，在實際使用中實現廢氣的有效處理是 為復雜的過程，整個過程在不到1秒的時間內完成。等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應
等離子體化學能量反應的傳遞大致如下：
(1) 電場+電子→高能電子
(2) 高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基 團
(3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團+活性基團→生成物+熱
從以上過程可以看出，電子從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
技術處理污染物的原理：
在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成 無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。作為環境污染處理領域中的一項具有 強潛在優勢的高新技術，等離子體受到了國內外相關學科界的高度關注。
低溫等離子體技術在廢氣處理中的應用隨著工業經濟的發展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業產生的揮發性有機廢氣也日漸增多，這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時間，還會擴散和漂移到較遠的地方，給環境帶來嚴重的污染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產生 大的危害；另外工業煙氣的無控制排放使全球性的大氣環境日益惡化，酸雨(主要來源于工業排放的硫氧化物和氮氧化物) 的危害引起了各國的重視。由于大氣受污染而酸化，導致了生態環境的破壞，重大災難頻繁發生，給人類造成了巨大損失。因此選擇一種經濟、可行性強的處理方法勢在必行。
大部分宣傳采用低溫等離子技術處理廢氣的宣傳都不是真正意義上的低溫等離子廢氣處理技術。那是因為它需要兩個必要條件：（1）低溫等離子體處理系統 要有一定的放電處理功率。通常需要在2～5瓦時/米3。即1000米3/時的風量需要處理的電功率為2KW～5KW。（2）在廢氣凈化的通道上 充滿了低溫等離子體。這條規則判斷很簡單，只要用眼睛觀察一下處理通道是否充滿紫藍色的放電就可以直觀的了解是否是低溫等離子體了（需要注意的是不要將各種顏色的燈光當作電離子體放電）。如果在廢氣處理的通道上只零星的分布若干的放電點或線，則處理的效果是非常有限的，因為，大部分的(VOCs)氣體沒有進過低溫等離子體處理區域。
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